Обучение профессии оператор вакуумно-напылительных процессов в Ступине на 2, 3, 4, 5, 6, 7 разряд на курсах без отрыва от производства

Характеристика работ.

• Напыление однослойных пленок металлов и стекол на вакуумных и плазменных установках.
• Установка подложек и масок без точного совмещения экранов и испарителей в рабочую камеру установки.
• Загрузка навесок испаряемых металлов и стекол на испарители различных конструкций.
• Замеры толщины в процессе напыления, контроль сплошности и адгезии.

Должен знать:

1. назначение, устройство и правила эксплуатации обслуживаемых установок;
2. назначение и принцип работы применяемых контрольно-измерительных приборов, правила пользования и обращения с ними;
3. назначение процесса откачки;
4. способы и методы контроля степени вакуума;
5. режимы испарения и осаждения распыляемого материала.;

Характеристика работ.

• Напыление многослойных пленочных микросхем на вакуумных и плазменных установках.
• Установка подложек, масок, экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки.
• Загрузка навесок испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.
• ) на испарители различных конструкций.
• Замена мишеней на установках магнетронного напыления.
• Контроль электрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемых слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Должен знать:

1. устройство, принцип действия и способы подналадки обслуживаемого оборудования;
2. устройство универсальных и специальных приспособлений, контрольно-измерительных приборов;
3. назначение процесса откачки;
4. режимы испарения и осаждения распыляемого материала;
5. способы и методы контроля степени вакуума;
6. основные свойства и характеристики испаряемых материалов;
7. основные законы электротехники и вакуумной техники.;

Примеры работ

Характеристика работ.

• Напыление одного и нескольких слоев металлов на пластины, а также пленки на вакуумных установках с термическим распылением.
• Обслуживание вакуумных установок различных типов, в том числе с магнетронным способом напыления.
• Определение неисправностей в работе установок и принятие мер по их устранению.
• Корректировка режимов напыления по результатам контрольного процесса.
• Регистрация и поддержание режимов осаждения с помощью контрольно-измерительной аппаратуры.
• Определение качества напыленных слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Должен знать:

1. устройство вакуумных установок различных моделей;
2. кинематику, электрические и вакуумные схемы;
3. правила наладки и проверки на точность обслуживаемого оборудования;
4. устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных инструментов и приборов;
5. конструкцию универсальных и специальных приспособлений;
6. способы отыскания течей;
7. основные свойства пленок, используемых для получения токоведущих, резистивных и изоляционных элементов микросхем;
8. основы физического процесса получения тонких пленок;
9. основные виды брака и причины его возникновения.;

Примеры работ

Характеристика работ.

• Напыление различными способами (термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронное напыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий с субмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выбором оптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической документации.
• Обслуживание установок с программным управлением.
• Наблюдение за режимами процесса.
• Работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации и поддержания режимов осаждения пленок.
• Сравнительный контроль качества просветляющих пленок по эталону.

Должен знать:

1. электрические и вакуумные схемы, способы проверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок;
2. конструкцию обслуживаемого оборудования;
3. правила определения режимов работы оборудования для получения металлических, резистивных пленок;
4. правила настройки и регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов;
5. электрофизические свойства взаимодействия полупроводник - металл, металл - металл;
6. основы электротехники и порядок работы вакуумной техники.;

Примеры работ

Характеристика работ.

• Напыление металлических, резистивных и диэлектрических пленок на установках различных типов.
• Самостоятельный выбор способа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление, осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и т.
• д.
• ).
• Отработка режимов напыления.

Должен знать:

1. конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур;
2. методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса;
3. правила определения режимов получения пленочных микроструктур;
4. методы контроля параметров пленок;
5. физику процесса получения пленочных микроструктур различными способами.;

Примеры работ

Характеристика работ.

• Напыление металлических и окисных покрытий с заданной оптической плотностью и дефектностью.
• Напыление тугоплавких металлов с образованием силицидов.
• Составление программ проведения процесса напыления с использованием ЭВМ.
• Замер поверхностного сопротивления силицидов и пленок металла.
• Определение отражающей способности пленки и коэффициента запыления рельефа пленкой.
• Отработка режимов напыления пленки с получением указанных параметров (толщина, состав, коэффициенты запыления и отражения), настройка и калибровка по эталонам приборов для измерения заданных параметров.
• Сборка и разборка внутрикамерного устройства установок и их чистка.
• Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер по их ликвидации.
• Оценка качества высокого вакуума.

Должен знать:

1. устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования;
2. принцип работы откачных средств и способы измерения вакуума;
3. наладку и настройку контрольно-измерительных приборов;
4. способы получения проводящих, резистивных, барьерных, диэлектрических слоев и диодов Шоттки;
5. влияние режимов напыления на электрофизические свойства пленок.;